インダストリアルクリーンルーム
用途により2つに分類されるクリーンルーム。こちらでは、工業品の製造工程で用いられるインダストリアルクリーンルーム(ICR)についてご紹介します。
インダストリアルクリーンルームとは
インダストリアルクリーンルームとは、主に空気中における浮遊微粒子の管理が行き届いた空間のこと。クリーンな環境を実現し、半導体産業をはじめとする、工業技術の発展を支えます。
また、クラス1〜10のインダストリアルクリーンルームをスーパークリーンルームとも言います。
インダストリアルクリーンルームの特徴
| 基本目的 | 外部からの汚染防止 |
|---|---|
| クラス(清浄度) | 1〜100,000(個/ft3) |
| 対象粒子径 | 0.1〜0.3μ |
| 空間規模 | 大部屋中心 |
| 主な仕様・設備 | 更衣室、エアタイトドア、アクセスフロア、エアシャワー、手洗い器、ジェットタオル、パスボックス |
インダストリアルクリーンルームの用途
インダストリアルクリーンルームは、チリやホコリを嫌う精密機器の製造や研究・開発・実験の場として活躍しています。
- IC-LSI
- 半導体
- 液晶
- HDD
- 光学機器
- ミニチュアベアリング
- マイクロモーター
- 精密機械
- 電子製版
- プリント基盤
- 時計 など
インダストリアルクリーンルームの特徴
- 外界環境を遮断する強力シールド
- パネルとパネルのジョイントは、標準仕様として防カビ用シリコンシーラント(脱オキシム型)で高気密性を維持し、振動にも強さを発揮します。
- 有効スペースの最大利用を実現
- 高強度のパネルは独立構造無柱式で、施工性は抜群。もちろん、内部の機器レイアウトはフリー。性能を維持しながら、窓や扉、コンセントなども組み込むことが可能です。
- フレキシブル、独立構造無柱式
- 金属板でサンドイッチ一体成型されたパネルは高強度で、耐蝕性にも優れた構造材です。十分な強度があるため、独立施工ができ、柔軟な設計プランをたてられます。
- クリーンルームとは
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- インダストリアルクリーンルーム
- バイオロジカルクリーンルーム

